島津氣質(zhì)聯(lián)用儀晶圓片附著痕量有機(jī)物分析

2019年08月06日 20:21 來源：上海斯邁歐分析儀器有限公司

與硅片所接觸的材料，設(shè)備，人員等外界環(huán)境都包含有機(jī)化合物。在該實例中，一塊8英寸硅片被壓覆于一塊晶片加熱板上。晶片表面所產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體可以通過一臺GC-MS進(jìn)行收集和分析。

通常，塑料材質(zhì)的零配件會檢測出包含C12（1-十二碳烯）、環(huán)甲基硅氧烷（n=6）和二羧酸酯組分。

通過加熱晶圓片，分析有機(jī)物揮發(fā)出的氣體組分所對應(yīng)的色譜圖，進(jìn)而對附著于晶片的有機(jī)物進(jìn)行定性分析。樣品可以通過一個氣體收集器進(jìn)行采集。此檢測系統(tǒng)可以實現(xiàn)ng級樣品濃度的定量分析。

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

最新產(chǎn)品

久久97精品国产96久久小草|秋霞电影网一区二区三区|成人欧美视频一区二区三区黑人|午夜av在线免费观看