壓力傳感器芯片中的真空檢漏技術(shù):

壓力傳感器是一種堅(jiān)固耐用的直接介質(zhì)壓力監(jiān)測解決方案，專為當(dāng)今最嚴(yán)苛的壓力傳感環(huán)境而設(shè)計(jì)，可應(yīng)用于工業(yè)（HVAC系統(tǒng)、工業(yè)自動(dòng)化、過程監(jiān)控、水位和壓力監(jiān)測等）、汽車（變速箱油壓、燃油系統(tǒng)壓力等）、醫(yī)療（診斷和分析設(shè)備）等領(lǐng)域。因?yàn)樘厥舛鴩?yán)苛的工作環(huán)境，傳統(tǒng)的壓力傳感器包括電路分析、材料分析和無源器件分析等，即包括MEMS芯片、ASIC芯片、電容、電阻、陶瓷PCB、塑封蓋、金屬套管等，這些元器件通過焊接工藝封裝到一起，這就要求壓力傳感器的密封性高，在使用過程中不會(huì)出現(xiàn)泄漏的問題，行業(yè)內(nèi)負(fù)壓法檢漏漏率是＜1E-10mbarl/s.

壓力傳感器芯片檢漏客戶案例: 

上海伯東協(xié)助某新能源汽車客戶解決了如上測試要求, 測試流程如下：

1. 封裝好的芯片放在一個(gè)密封的腔體1內(nèi)，內(nèi)部充3Bar或者更高壓力的氦氣，保壓30min~1h

2. 把芯片從腔體1內(nèi)取出，用高純氮?dú)鈱?duì)產(chǎn)品表面吹掃，吹掃后再放置到腔體2內(nèi)

3. 檢漏儀ASM 340W通過管路連接到腔體2，打開檢漏儀，設(shè)定檢漏儀報(bào)警精度為1E-10 mbarl/s，開始漏率測試

4. 測試過程中如果檢漏儀不報(bào)警，判定樣品符合漏率要求，如果檢漏儀報(bào)警，則判定檢漏儀不合格

鑒于信息保密，更詳細(xì)的壓力傳感器芯片方式歡迎致電 

上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340W  技術(shù)參數(shù)：

此檢漏系統(tǒng)核心部件是上海伯東代理德國 Pfeiffer ASM 340 氦質(zhì)譜檢漏儀. 上海伯東依據(jù)客戶實(shí)際需要協(xié)助設(shè)計(jì)壓力傳感器芯片檢漏并提供完善的售后維修服務(wù).

上海伯東德國 Pfeiffer普發(fā)檢漏儀ASM-340優(yōu)勢及應(yīng)用領(lǐng)域:

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 特性:

1. 前級(jí)泵可選油泵或干泵或不配前級(jí)泵, 滿足各類應(yīng)用
2. 高壓縮比分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s, 檢測時(shí)間短
3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的最小檢測漏率：
   真空模式: 5E-13 Pa m3/s
   吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界漏律
4. 大的進(jìn)氣口壓力 25 hPa, 快速進(jìn)入檢漏模式
5. 觸摸式人機(jī)界面, 7英寸大屏幕高分辨率移動(dòng)式操作面板, 易操作
6. Usb 端口, 方便數(shù)據(jù)傳輸
7. 抗破大氣, 抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)性
8. 豐富的可選配件, 如吸槍, 遙控器, 小推車, 旁路裝置, 標(biāo)準(zhǔn)漏孔等

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 應(yīng)用領(lǐng)域:

上海伯東是德國 Pfeiffer  真空設(shè)備, 美國  KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 比利時(shí)進(jìn)口 Europlasma 等離子表面處理機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口品牌的代理商 .我們真誠期待與您的合作!

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上海伯東: 羅小姐